• Mit Hilfe der RGA ist es möglich zu kontrollieren, ob die Bauteile nach der Feinreinigung den gewünschten Reinheitsgrad erreicht haben.

• Dazu werden Bauteile in die Vakuumkammer eingebracht und unter Ultrahochvakuum mit einem Massenspektrometer gemessen.

• Im Massenspektrometer werden Ionen aufgrund unterschiedlicher Masse bzw. Geschwindigkeit getrennt. Man erhält ein Massenspektrum aus dem man Verschmutzungen folgern kann.

• Feinreinigung durch Ausheizen im Ultrahochvakuum bis zu 145°C möglich

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Anlage für die Restgasanalyse 

• RGA-Anlage besteht aus einem 2-Kammer System mit Trennschieber

• In die große Kammer können die Bauteile eingebracht werden

• An die kleine Kammer ist das Massenspektrometer angeschlossen

• Mit Hilfe eines Verfahrarms können Bauteile von der großen Kammer in die kleine Kammer eingebracht werden

• Messen ist in beiden Kammern möglich (bei Messung in der kleinen Kammer, wird die große Kammer mittels Schieber abgetrennt)

• Abmaß große Kammer: Ø 600mm x 300mm /max. Beladung 150 kg

• Abmaß kleine Kammer: 200mm x 140mm x 50mm /max. Beladung 2 kg

• Es wird ein Vakuum von ca. 5xE-08 erreicht

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Reinraummitarbeiter bedient
RGA-Anlage