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Mit Hilfe der RGA ist es möglich zu kontrollieren, ob die Bauteile nach der Feinreinigung den gewünschten Reinheitsgrad erreicht haben.
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Dazu werden Bauteile in die Vakuumkammer eingebracht und unter Ultrahochvakuum mit einem Massenspektrometer gemessen.
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Im Massenspektrometer werden Ionen aufgrund unterschiedlicher Masse bzw. Geschwindigkeit getrennt. Man erhält ein Massenspektrum aus dem man Verschmutzungen folgern kann.
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Feinreinigung durch Ausheizen im Ultrahochvakuum bis zu 145°C möglich
Anlage für die Restgasanalyse
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RGA-Anlage besteht aus einem 2-Kammer System mit Trennschieber
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In die große Kammer können die Bauteile eingebracht werden
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An die kleine Kammer ist das Massenspektrometer angeschlossen
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Mit Hilfe eines Verfahrarms können Bauteile von der großen Kammer in die kleine Kammer eingebracht werden
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Messen ist in beiden Kammern möglich (bei Messung in der kleinen Kammer, wird die große Kammer mittels Schieber abgetrennt)
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Abmaß große Kammer: Ø 600mm x 300mm /max. Beladung 150 kg
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Abmaß kleine Kammer: 200mm x 140mm x 50mm /max. Beladung 2 kg
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Es wird ein Vakuum von ca. 5xE-08 erreicht
Reinraummitarbeiter bedient
RGA-Anlage